سیستم های میکرو الکترومکانیکی تلفیقی از اجزای مکانیکی و الکترونیکی هستند که بر روی یک لایه ای از سیلیکون قرار دارند و به کمک تکنولوژی ساخت ریزتراشه ها (میکروماشینکاری) تولید می شوند. تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی در صنایع مختلف مانند خودروسازی, پزشکی, کشاورزی, هوافضا و… کاربرد دارد.